优秀的热沉设计
在探针臂和防辐射屏之间做热沉，在降温时使探针臂温度和防辐射屏温度相当，从而避免探针臂的温度影响样品温度。此外，接入探针台的电学引线也在防辐射屏附近做了热沉，避免增加样品座的热负载。
四维运动调节
探针臂的位移调节在真空腔外操作，可以在不破坏真空的情况下，切换样品上的不同器件进行测试。探针臂可在X-Y-Z-R范围内进行四维调节，能满足最大2英寸的扎针测试。
漏电性能优越
探针臂采用三同轴接头，漏电性能好，实测漏电流小于 100fA @1V@4K--325K
PSM-4K闭循环低温探针台特点包含哪些？主要特点是什么？
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创建时间：2023-11-22 10:12
